Viatran 壓力傳感器5093BQS 

Viatran 壓力傳感器5093BQS 

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微機械壓力傳感器是開始研制的微機械產(chǎn)品，也是微機械技術(shù)中成熟、早開始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號檢測方式來看，微機械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類，分別以體微機械加工技術(shù)和犧牲層技術(shù)為基礎制造。從敏感膜結(jié)構(gòu)來看，有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。壓阻式壓力傳感器的精度可達0.05%～0.01%,年穩(wěn)定性達0.1%/F.S，溫度誤差為0.0002%,耐壓可達幾百兆帕,過壓保護范圍可達傳感器量程的20倍以上,并能進行大范圍下的全溫補償?，F(xiàn)階段微機械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個方面。 

美國威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5093BPS 
美國威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5705BPSX1052
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美國威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 510BPSNK

硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個進入市場的微機械傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中有吸引力的是力平衡加速度計，其典型產(chǎn)品是Kuehnel等人在1994年報道的AGXL50型。國內(nèi)在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作，如西安電子科技大學研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學微電子所開發(fā)的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵、壓阻電橋檢測的方式，其敏感結(jié)構(gòu)為高度對稱的4角支撐質(zhì)量塊形式，在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個諧振梁用于信號檢測。

SOR丨1NN-K45-M4-C1A 壓力開關(guān)
SOR丨6NN-K3-N4-F1A  壓力開關(guān) 
SOR丨101NN-K45-N4-CIA  壓力開關(guān)  
SOR丨101NN-K3-N4-C1A  壓力開關(guān)   
SOR丨5NN-K5-N4-C2A 壓力開關(guān) 
SOR丨9NN-K3-N4-F1A  壓力開關(guān)    
SOR丨6NN-K2-N4-FIA  壓力開關(guān) 

角速度一般是用陀螺儀來進行測量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動的物體具有保持其角動量的特性來測量角速度的。這種陀螺儀的精度很高，但它的結(jié)構(gòu)復雜，使用壽命短，成本高，一般僅用于導航方面，而難以在一般的運動控制系統(tǒng)中應用。實際上，如果不是受成本限制，角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統(tǒng)、攝象機的穩(wěn)定系統(tǒng)、科研儀器、軍事儀器、運動機械、計算機慣性鼠標、軍事等領域有廣泛的應用前景。常見的微機械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu)，懸臂梁結(jié)構(gòu)、音叉結(jié)構(gòu)、振動環(huán)結(jié)構(gòu)等。但是，實現(xiàn)的微機械陀螺的精度還不到10°/h，離慣性導航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠。
SOR丨101NN-K45-N4-CIA  壓差開關(guān)
SOR丨1NN-K45-M-C2A-TTYY（6-10MPa）  壓力開關(guān) 
SOR丨1NN-K45-M-C2A-TTYY（7-10MPa） 壓力開關(guān) 
SOR丨9NN-K45-N4-F1A（2-6MPa）  壓力開關(guān) 
SOR丨6NN-K2-N4-F3A  壓力開關(guān) 
SOR丨701A-F7A-P-A4-N4  壓力開關(guān) 
SOR丨12NN-K45-N4-BIA 壓力開關(guān)

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微流量傳感器不僅外形尺寸小，能達到很低的測量量級，而且死區(qū)容量小，響應時間短，適合于微流體的精密測量和控制。國內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式（包括熱傳導式和熱飛行時間式）、機械式和諧振式3種。清華大學精密儀器系設計的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應力，再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測出流量信號。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm，在10ml～200ml/min的氣體流量下，線性度優(yōu)于5%。
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根據(jù)制作材料的不同，微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器。其中前者以硅為襯底，敏感層為非硅材料，是當前微氣敏傳感器的主流。微氣體傳感器可滿足人們對氣敏傳感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān)，因而要同時制作加熱元件和溫度探測元件，以監(jiān)測和控制溫度。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和溫度探測元件制作在一起，保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮。

放大器504C5NRSS2-672 with ELFP09210P-Q CONTROLS

放大器504C5NRSS2-673 with ELFP09210 P-Q CONTROLS
電控手柄M115-1526P-Q CONTROLS
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減速器8SD132720AuburnGear
OFITE  比重計 115-00
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DODGE BASE/066231/P4B-SD-215軸承 美國
DODGE BASE/066268/p4b-sd-215e軸承 美國
DODGE BASE/066235/p4b-sd-307軸承 美國
DODGE BASE/066272/ P4B-SD-307E軸承 美國

諧振式氣敏傳感器不需要對器件進行加熱，且輸出信號為頻率量，是硅微氣敏傳感器發(fā)展的重要方向之一。北京大學微電子所提出的1種微結(jié)構(gòu)氣體傳感器，由硅梁、激振元件、測振元件和氣體敏感膜組成。硅梁被置于被測氣體中后，表面的敏感膜吸附氣體分子而使梁的質(zhì)量增加，使梁的諧振頻率減小。這樣通過測量硅梁的諧振頻率可得到氣體的濃度值。對NO2氣體濃度的檢測實驗表明，在0×10～1×10的范圍內(nèi)有較好的線性，濃度檢測極限達到1×10，當工作頻率是19kHz時，靈敏度是1.3Hz/10。德國的M.Maute等人在SiNx懸臂梁表面涂敷聚合物PDMS來檢測己烷氣體，得到－0.099Hz/10的靈敏度。